日经中文网
NIKKEI——日本经济新闻中文版

  • 20xx 水曜日
  • 0708

  • 搜索
Home > 产业聚焦 > IT/家电 > 这家日企深耕半导体感光材料

这家日企深耕半导体感光材料

2020/12/23

PRINT

半导体

       在半导体电路形成所必需的“感光材料”领域,日本东洋合成工业的市场份额居全球首位,股价正在迅速上涨。2019年初股价仅为800日元水平,2020年上涨至1万日元以上,处于高点附近。投资者热切关注着支持最尖端半导体微细化技术“EUV(极紫外光刻)”的感光材料。东洋合成这家销售额约为250亿日元的日本中坚企业拥有压倒性的竞争力,其背后是对品质的极致追求。

 

 

       不锈钢地板

 

       在日本千叶县利根川河口附近一条飘着养猪场气味的幽静道路尽头,有一座尖端感光材料工厂。这就是东洋合成的千叶工厂。走进工厂,映入眼帘的是一片广阔的“银色世界”,与周围绿意盎然的风景形成鲜明对比。这里到处都是不锈钢,连地板都用不锈钢铺设,除释放人体积累的静电、防止发生事故外,还可避免建筑材料产生灰尘。

 

       感光材料是对特定波长的光产生化学反应的材料。日本合成橡胶(JSR)和东京应化工业等光刻胶企业在溶剂中混合少量感光材料和树脂,制成光刻胶。在半导体基板上涂上薄薄一层光刻胶,向特定部分照射光线,便可按照设计图形成电路。

 

       要实现高速通信标准“5G”的实用化和普及自动驾驶汽车,半导体需要进一步提高功能。关键因素就是基于EUV技术的电路微细化。该技术已被美国苹果的新款智能手机iPhone 12采用。最尖端的电路线宽为5纳米,比新冠病毒还要细,只有头发的万分之一。哪怕是混入些微的杂质,电路也会发生错乱,导致半导体变成次品。

 

       这就要求感光材料也对EUV的光产生化学反应。在面向EUV的感光材料领域,东洋合成拥有全球超过5成的份额。在众多感光材料厂商中,面向EUV的感光材料能够达到实用水平的企业十分有限。

 

       为了在狭小的布线范围内发生理想的化学反应,面向EUV的感光材料具有复杂的内部结构。生产时需添加具有各种功能的物质,比如为避免化学反应连锁式扩大而进行抑制等。而且还要在添加功能的所有阶段都保持很高的品质。东洋合成的社长木村有仁表示,“用日本酒来比喻的话,就是在大米研磨、发酵、制成大吟酿的各个阶段都不能掺杂质,要制作纯正的产品”。

 

       东洋合成的感光材料采用以下工序生产。首先使化学品发生反应并结晶。然后从中分离出制造产品所需的成分,再进行干燥即可完成。虽然文字描述看似简单,但所有工序都凝聚了长年积累起来的技术经验。除了要具备温度和压力等最佳条件之外,还要尽量避免杂质混入,并磨炼出即使有杂质混入也能清除的技术。很多作业都非常耗费工夫,但千叶工厂厂长林孝雄表示,“精益求精才能生产出面向尖端技术的感光材料”。

 

       面向尖端产品的感光材料“具有黄金一般的价值”(林孝雄),在品质管理上也尤其严格。每次推出新产品时,都会在销售之前进行反复试制,以确认每次都能制成同样的产品。尖端产品的试制次数更多,有时甚至需要反复进行5次左右。每次试制时都会对生产过程中的重要要素进行确认,以保证能够准确无误地制造出复杂的产品。

 

版权声明:日本经济新闻社版权所有,未经授权不得转载或部分复制,违者必究。

二维码

日经中文网
公众平台上线!
请扫描二维码,马上关注!

金融市场

日经225指数30168.27496.5702/25close
日经亚洲3001874.5629.7202/2517:41
美元/日元106.060.5002/2517:36
美元/人民元6.4509-0.004702/2508:36
道琼斯指数31961.86424.5102/24close
富时1006686.81027.84002/2508:26
上海综合3585.045820.965902/25close
恒生指数30074.17355.9302/25close
纽约黄金1796.4-8.002/24close

关于日经指数