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三星试用韩国产氟化氢 应对日本出口管制

2019/09/05

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日韩关系

  韩国三星电子开始在量产半导体的生产线上使用韩国产氟化氢一事9月4日浮出水面。自日本政府7月加强3种半导体材料的出口管理以后,三星一直反复测试日本以外的替代品。有分析认为将在一部分量产线上试用,确认是否存在问题。

   

三星电子的半导体工厂

        

  三星电子相关人士9月4日承认,“作为推进供给来源多元化的一环,正在一部分生产线上推进非日本造(氟化氢)的测试”。

  

  行业相关人士透露,三星自8月下旬起,开始在一条生产线上使用韩国企业供应的氟化氢。氟化氢被用于晶圆的清洗等,三星将首先在对品质影响较小的工序上采用非日本造氟化氢。

  

  此次投入量产线的是从中国进口、由韩国企业加工的氟化氢。不过,三星没有透露企业名等详细情况。SK海力士也在评估非日本造产品能否用于量产线。

    

  韩国氟化氢的最大进口来源地是中国,但如果仅限于用于生产半导体的超高纯度产品,日本的Stella Chemifa和森田化学工业几乎掌握9成份额。日本企业从中国进口原料,在日本的工厂提高纯度之后向韩国出口。

    

  不过,三星对于是否全面采用日本造以外的氟化氢仍持慎重态度。日本政府8月底批准了氟化氢的出口。半导体产业相关人士强调称,“如果日本造能稳定供应,将继续使用。此次措施是应对日本不再供给的事态的举措之一”。

  

  日本经济新闻(中文版:日经中文网)铃木壮太郎 首尔报道 

  

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